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電子行業用水(shuǐ)

電子行業用水.jpg

一、行業簡介
        半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示(shì)、高精度(dù)線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規模、超大規模集成電(diàn)路需(xū)用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,線寬越窄,對水質的要求也越高。目前我國電子工業部把電子級水質技術分為(wéi)五個行(háng)業等級,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質。
二、應用(yòng)範圍
1、電子、電(diàn)力、電鍍、照明電器、實(shí)驗室、食品、造紙、日化、建(jiàn)材、造漆、蓄電池、化驗、生物、製藥(yào)、石油、化工、鋼(gāng)鐵、玻璃(lí)等領域。
2、化工工藝用水、化學藥劑、化妝品等用純水。
3、單晶矽、半導體晶片切割製造、半導體芯片、半導體封裝(zhuāng) 、引線櫃架、集成電路、液晶顯示器、導電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件、電容器潔淨產品及各(gè)種元器件等生(shēng)產工(gōng)藝用純(chún)水。
三、工藝簡介
1、係統模塊化設計,共分四部分:預處理係統、反滲透係統(tǒng)、EDI係統、終端供(gòng)水係統。
2、預處理係統(tǒng)主(zhǔ)要用來去(qù)除原水中的懸浮物、濁度(dù)、色度、膠體以及部分有機物,保證產水(shuǐ)符合反滲透係統的進水水(shuǐ)質要求。
3、反滲透係統主要用來去除原水中溶解性鹽類物質、細菌、熱源(yuán)等,保證產水符合EDI係(xì)統進(jìn)水水質要求。
4、EDI係統主要用來對反滲透產水進行進一步(bù)脫除溶解性的小分子(zǐ)鹽類物質,產水達到電阻(zǔ)率達到(dào)15MΩ.cm以上。
5、終端供水係統主要是用來將合格(gé)水(shuǐ)輸送至用水點,輸送過程中對EDI產(chǎn)生進行最後的離子交換(huàn)脫鹽,使(shǐ)得(dé)產水達到電阻率達到18MΩ.cm以上。
6、整個係統進行集中控製。

四、技術特色
1、係統(tǒng)模塊化設計,占地麵積小(xiǎo),操作維護方便,安裝方便快捷,整體(tǐ)美(měi)觀。
2、整套係統實現全自動化運行,並且手動與自動自由切換。
3、設備(bèi)產水水質穩定,運行連續穩定(dìng)。
4、係統工藝(yì)先進,無需化學藥品再生(shēng),無(wú)危害性廢(fèi)液排放。
5、係統節水率(lǜ)高,係統回收率在75%以上。
6、關鍵部位采用在線儀表(biǎo)監測,適時數據上傳。
五、設備(bèi)參數
1、係統回收率:
        超濾≥90%
        一級反(fǎn)滲透≥75%
        二級反滲(shèn)透(tòu)≥85%
        EDI係統≥90%
2、設備產水符合《電子超純水國家標準》 (GB/T1144.6.1-1997)或美(měi)國半導體工業純水指標。
3、單(dān)支膜脫鹽率≥99.5%(水溫25℃)。

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